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三氯氫硅廠的硅渣

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目前,國內(nèi)外應(yīng)用廣,主要的制備超純硅的方法,是以三氯氫硅為原料,(即改良西門子法)。故三氯氫硅的合成在半導(dǎo)體材料硅的生產(chǎn)中引起了廣泛注意,并取。

**通能硅材料500t/a多晶硅、16kt/a三氯氫硅項目可行性研究報告承擔(dān)。硅渣收集器收集回用;氣相經(jīng)空冷器初冷后進入冷凝器經(jīng)冷凍鹽水冷凝后經(jīng)。

泰興中能遠東硅業(yè)3×XX0噸/年的三氯氫硅項目環(huán)評公示XX年2。液氯氣化殘渣:擬全部收集回送生產(chǎn)廠家處置;硅渣:擬外賣處理;過濾殘渣:。

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