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日本9S研磨機(jī)用游星輪

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本發(fā)明涉及晶片研磨領(lǐng)域,具體涉及一種用于正多邊形晶片研磨的游星輪。背景技術(shù):在光學(xué)晶片的生產(chǎn)過(guò)程中,研磨工藝是十分重要的一個(gè)環(huán)節(jié)。其中,雙面研。

由于采用了行星式研磨拋光機(jī),可以直接對(duì)大面積平面。這樣是把鑄鐵游星輪放在上下研磨盤之間對(duì)研磨盤。為了能得到非常理想的雙面研磨盤,對(duì)HD2M9-。

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