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大連碳化硅

其中,4次提到了以碳化硅、氮化鎵為代表的第三代半導(dǎo)體功率器件。到目前為止,國(guó)內(nèi)已有四條4/6英寸SiC生產(chǎn)/中試線和三條GaN生產(chǎn)/中試線相繼投入使用。

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摘要:本文回顧了半導(dǎo)體碳化硅(SiC)單晶材料的發(fā)展史,簡(jiǎn)單介紹了半導(dǎo)體SiC單晶材料的結(jié)構(gòu)與性質(zhì),對(duì)物理氣相傳輸法(PVT)制備SiC單晶做了描述,詳細(xì)介紹了。

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