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硅化鎂吸附

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淺析硅烷電子氣體制備及提純工藝-道客巴巴反應(yīng)式:Mg2Si+4NH4Cl——→2MgCl2+4NH3+SiH4整個(gè)生產(chǎn)過程包括:硅化鎂合成,硅烷氣體制備,分子篩吸附提純和硅烷液化、氣化、充瓶等。。

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多晶硅還原爐循環(huán)氫氣吸附脫除磷化氫研究-道客巴巴黃國強(qiáng)天津大學(xué)研究生院2016年5月多晶硅還原爐循環(huán)氫氣吸附脫除磷化氫研究。根據(jù)硅烷的制備方法不同有日本發(fā)明的硅化鎂法,美國聯(lián)碳公。

硅烷制備的分子篩提純裝置的制作方法吸附柱可以多次重復(fù)使用,且潔凈度會(huì)愈來愈高。當(dāng)5Α分子篩終端在線檢測出現(xiàn)乙。上一篇:硅烷液化、汽化裝置的制作方法上一篇:硅化鎂合成制備裝置的制作方法。

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